차세대 EUV 장비 도입과 방호벽 설치 기준 등 완화
(내외방송=정지원 기자) 반도체산업에 사용되는 고압가스에 대한 안전혁신과제가 선정돼 국내 반도체산업의 글로벌 경쟁력이 한층 더 높아질 것으로 전망된다.
산업통상자원부(이하 산업부)는 13일 "반도체 초강대국 달성을 위해 고압가스에 대한 11건의 안전혁신과제를 선정하고, 전문가 검토 등을 거쳐 합리적으로 개선해 기업 부담을 완화할 계획"이라고 밝혔다.
산업부는 그 동안 반도체 체조 용도의 수입 산업 가스 수급 안정을 위해 지속적으로 규제를 발굴 및 개선해 왔다.
수입 산업 가스는 디플루오로메탄(반도체 가공용)과 삼불화붕소(반도체 전도율 증가) 등이다.
주요 규제는 ▲차세대 EUV 장비 국내 도입 허용기준 개선 ▲방호벽 관련 다양한 설치 기준 허용 ▲공장 내부의 용기보관 기준 개선 등이다.
'차세대 EUV 장비 국내 도입 허용기준 개선'에서는 미국기계학회(ASME)에서 인정받은 재료의 배관도 고압가스 배관으로 사용이 가능하도록 안전성을 검토한 후 가스상세기준을 개정해 국내 도입이 가능하도록 할 예정이다.
EUV 장비란 극자외선 파장으로 네덜란드 ASML사가 생산하는 장비다.
극자외선을 이용해 반도체 회로를 그려주는 노광장비(빛을 들어오게 함)로 슈퍼듀플렉스(스테인레스보다 부식이나 저항성 등이 보완된 신소재 이중구조 배관) 소재를 사용해 장비 효율을 높일 수 있다.
'방호벽 관련 다양한 설치 기준 허용'에서는 고압가스 폭발 시 인근 보호시설(주택이나 학교)과 인병 보호를 위한 방호벽 설치에 관련됐다.
구조기술사 등이 안전성을 확인한 경우에 케미컬앵커(접착제 성분) 등 다양한 지주설치방법을 허용하고, 동등한 안전 수준이라면 다양한 재질의 방호벽을 허용하도록 기준을 마련해 반도체 공장의 공간 활용을 증대시킬 방침이다.
'공장 내부의 용기보관 기준 개선'에서는 가스용기를 보관할 목적으로 배기 등 안전장치가 설치된 강판제(강철로 만든 판) 용기 보관함인 실린더캐비닛과 관련됐다.
전문가 검토 등을 거쳐 저장용 실린더 캐비닛에 대한 안전성을 검증받은 후 지붕을 가벼운 불연재료(쉽게 불이 붙지 않거나 빠르게 연소되지 않는 물질)로 사용하도록 하는 의무 규정을 면제하는 기준 등을 마련할 계획이다.
박일준 산업부 2차관은 "반도체 초강대국 달성을 촉진하고 지원하는 기폭제가 될 수 있도록 이번에 선정된 혁신규제과제를 신속하게 추진하겠다"고 강조했다.
