“대체재 찾는 韓 반도체 업계에 위협 느낀 일본 업체들이 허가 촉구” 분석
韓 정부 "일희일비하지 않겠다"..."수출규제 조치 무조건 철회해야"
(내외방송=모지환 기자) 일본이 수출규제 조치 이후 처음으로 불화수소(에칭가스) 수출을 허가한 것으로 알려졌다. 그동안 감광액 수출은 두 차례 일본이 허가한 바 있지만 불화수소는 이번이 처음이다.
29일 정부와 업계에 따르면 일본 경제산업성이 반도체 주요 공정에 쓰이는 불화수소 수출을 허가했다.
산업통상자원부 관계자는 "오늘 일본이 불화수소가스 수출 1건을 허가한 것을 반도체업계 등을 통해 확인했다"고 밝혔다.
고순도 불화수소(에칭가스), 플루오린 폴리이미드, 포토레지스트 등 반도체 소재 3개 품목은 개별 수출허가 대상으로, 규제 조치 후 일본이 불화수소 수출을 허가한 것은 처음이다.
불화수소는 삼성전자와 SK하이닉스 등 국내 반도체 기업들이 확보에 주력했던 소재 중 하나다. 불화수소가 반도체 핵심 소재인 웨이퍼(원판)에 회로를 새기는 삭각 공정이나, 불순물을 제거하기 위한 세정작업 등에 활용된다.
반도체 공정 특성상 이 과정에서 잔여물이 회로에 남게 되면 불량품을 만들어 지게 된다. 이 때문에 순도가 높은 99.999%의 불화수소를 사용해야 하는데 일본이 이 분야에 앞선 기술을 보유하고 있다.
산업부 관계자는 "불화수소는 3대 '개별허가 대상'중 하나로 향후 10일 내에 우리나라에 도착할 것으로 보인다"고 내다봤다.
일본의 이번 조치는 수출규제가 정치적 보복조치가 아니고 WTO 규칙에도 어긋나지 않는다는 점을 강조하기 위한 것으로 풀이된다.
또 국내 반도체 업계가 대체재를 찾아 나서자 매출이 줄어들까 위협을 느낀 일본 업체들이 허가를 촉구했기 때문이라는 분석도 나온다.
그간 일본 정부는 고순도 불화수소가 군사적 목적으로 악용될 수 있다며 수출을 불허해왔다.
우리 정부는 "한 건 허가가 났다고 일희일비하지 않는다"며, "수출규제 조치의 무조건 철회가 필요하다는 입장엔 변화가 없다"고 선을 그었다.
한편, 일본에서 지난달 한국에 수출한 고순도 불화수소 물량은 전달보다 80% 넘게 감소했다. 일본 재무성은 지난달 고순도 불화수소 한국 수출량은 479t로, 6월보다 83.7% 급감했다고 밝혔다.
